IM 7030-T

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Bộ điều khiển: IM-7000
Đầu đo: IM-7030T
Cảm biến hình ảnh: CMOS đơn sắc, kích thước 1 inch, 6.6 triệu điểm ảnh
Màn hình hiển thị: Màn hình LCD 10.4 inch (XGA: 1024×768)

---

Trường nhìn (X × Y):

• Chế độ đo trường nhìn rộng:
  300mm (φ100mm + L200mm) × 200mm (φ100mm + L100mm) (4 góc R50)

• Chế độ đo độ chính xác cao:
  225mm (□25mm + L200mm) × 125mm (□25mm + L100mm)

---

Đơn vị hiển thị nhỏ nhất: 0.1μm

---

Độ lặp lại:

• Chế độ trường nhìn rộng:

  • Không di chuyển bàn: ±1μm

  • Có di chuyển bàn: ±2μm

• Chế độ độ chính xác cao:

  • Không di chuyển bàn: ±0.5μm

  • Có di chuyển bàn: ±1.5μm

---

Độ chính xác đo lường:

• Chế độ trường nhìn rộng:

  • Không ghép nối: ±5μm

  • Có ghép nối: ±(7＋0.02L)μm

• Chế độ độ chính xác cao:

  • Không ghép nối: ±2μm

  • Có ghép nối: ±(4＋0.02L)μm

---

Đầu đo tiếp xúc (Light Probe):

• Phạm vi đo (XY): 90mm × 90mm

• Độ sâu đo tối đa: 30mm

• Đường kính đầu đo: Φ3mm

• Độ lặp lại: ±2μm

• Độ chính xác đo: ±(8+0.02L)μm

---

Đo chiều cao:

• Phạm vi đo: 0–75mm

• Độ chính xác vị trí đo (XY): ±0.2μm

• Đơn vị hiển thị nhỏ nhất: 1μm

• Vùng đo khả dụng (XY):

  • Chế độ trường nhìn rộng: 145mm × 95mm

  • Chế độ độ chính xác cao: 107.5mm × 95mm

• Độ lặp lại: ±2μm

• Độ chính xác đo: ±7.5μm

---

Bộ nhớ lưu trữ: 500GB

Nhiệt độ môi trường sử dụng: +10 đến 35℃

Độ ẩm môi trường sử dụng: 20–80%RH (không đọng sương)

---

Chiếu sáng truyền qua:

• Phương pháp: Chiếu sáng telecentric truyền qua

Chiếu sáng phản xạ:

• Phương pháp: Chiếu sáng góc đa hướng 4 vùng (điều khiển điện)

• Chiếu sáng vòng khe hở (Slit Ring, điều khiển điện)

---

Bàn dịch chuyển (Stage):

• Bàn XY: Phạm vi di chuyển: 200mm × 100mm (điều khiển điện)

• Bàn Z: Phạm vi di chuyển: 75mm (điều khiển điện)

  • Tải trọng tối đa: 7.5kg

---

Điện áp nguồn: AC100–240V, 50/60Hz

Khối lượng:

• Bộ điều khiển: khoảng 8kg

• Đầu đo: khoảng 33kg